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沈阳，简称“沈”，古称奉天、盛京，是辽宁省辖地级市、省会、副省级市、特大城市、沈阳都市圈核心城市，《差异化培育提升不同类型城市发展新动能》提出打造成为高能级的国家中心城市之一 [135]  、先进装备制造业基地和国家历史文化名城。 [1]  全市下辖10个区、2个县、代管1个县级市，总面积1.286万平方千米。 [2-7]  [130]  根据第七次全国人口普查结果，截至2020年11月1日，沈阳市常住人口为907.0093万人。 [125]  2020年全市地区生产总值6571.6亿元，按可比价格计算，比上年增长0.8%。 [23] 

沈阳地处中国东北地区、辽宁中部，位于东北亚经济圈和环渤海经济圈的中心，是东北亚的地理中心，中国北部战区司令部驻地 [8]  、沈阳联勤保障中心驻所，长三角、珠三角、京津冀地区通往关东地区的综合交通枢纽，一带一路向东北亚、东南亚延伸的重要节点。 [9-10]  沈阳是东北地区政治、经济、文化中心和交通枢纽的中心。 [11] 

沈阳是国家历史文化名城，清朝发祥地，素有“一朝发祥地，两代帝王都”之称 。1625年，清太祖努尔哈赤迁都于此，皇太极建盛京城，并在此建立中国清朝，这是沈阳历史的转折，从军事卫所一跃变为清代两京之一的盛京皇城，开始成为东北的中心城市 [12-14]  。新中国建立后，沈阳成为中国重要的以装备制造业为主的重工业基地，被誉为“共和国装备部” [15]  ，有着“共和国长子”和“东方鲁尔”的美誉。 [15-16] 

沈阳先后获得全国文明城市、国家环境保护模范城市、国家森林城市、国家园林城市”、国家卫生城市、中国十佳冰雪旅游城市等称号 [6]  [17-19]  。

在过去的十几年里，光刻技术一度限制了工艺微缩的发展，EUV 技术的突破打破了这一瓶颈，使得工艺微缩得以继续向前延伸。台积电从 7nm 开始引入 EUV 技术，目前在 7nm、6nm、5nm 节点上积累了大量量产经验和记录，工艺已经非常稳定和成熟。今后随着 NA EUV 技术的导入，在 2nm 以下甚至 1nm 的图形定义问题也将得到解决。

光刻技术以外，陈平博士表示，器件结构和材料特性是工艺微缩的另外两大挑战，器件微小化的趋势决定了这两大领域必须有革命性的改变。在此基础上，器件结构将从 FinFET 转向 nanosheet 或 GAA 结构，器件材料方面近年来也看到了诸多创新和突破。

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